Techniques d'élaboration et de caractérisations des réseaux de nanocylindres d'or

Abstract

Dans ce travail, nous avons étudié les méthodes d'élaboration et de caractérisation des réseaux de nanocylindres d'or, de diamètres de base (80, 120 et 160 nm) et disposés selon trois configurations géométriques (carré, hexagonal et aléatoire), déposés et enrobées dans une matrice diélectrique de silice. Pour cela, les techniques de lithographie électronique et microscopie électronique à balayage ont été utilisées pour l'élaboration et la caractérisation des ces échantillons, respectivement. Les images MEB obtenues nous ont permis d'étudier les caractéristiques morphologiques des réseaux de nanocylindres d'or et de valider le procédé de lithographie électronique.