Eaboration et Caractérisation de ZnO sur le silicium et le silicium poreux pour application comme capteur de gaz.

Abstract

Notre travail sera présenté en trois chapitres : Le premier chapitre de ce manuscrit est consacré à la description du ZnO. Sa structure cristalline et ses principales propriétés physico-chimiques y seront rapportées, nous décrivons aussi les substrats utilisés (silicium et silicium poreux) et leur utilisation comme capteur de gaz. Le deuxième chapitre présente les conditions expérimentales et décrit les principales méthodes utilisées pour l’élaboration des couches minces de ZnO (voltampérométrie, chronoampérométrie) ainsi que les techniques d’analyse utilisées pour la caractérisation de ces couchestels que ; la microscopie électronique à balayage (MEB), la diffraction des rayons X (DRX) et la spectroscopie ultraviolet (UV-visible),spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (FTIR). Le dernier chapitre présente les différents résultats obtenus lors de la synthèse des couches minces de ZnO, par la méthode d’électrodéposition, la détection des vapeurs NH3 et le CO2 par les capteurs réalisés.